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MOCVD国产化之路面临的三座大山

2019-08-15 17:13:15来源:励志吧0次阅读

  过去的6~7年中,中国用于进口MOCVD设备的经费约合100亿元人民币,其中各地方政府补贴经费高达70亿元左右。

  完整的MOCVD设备进口免税,而国产MOCVD制造过程中需要进口的一部分关键零部件需缴纳关税,使得现阶段国产设备处于劣势。

  对于很多像、PV、电动汽车、通讯(包括无线通讯和光纤通讯)等高科技领域来说,MOCVD无疑是非常重要和关键的设备,因为很多相关系统中所用到的器件和芯片都出自于MOCVD所生长和制作出的外延片。可是多年来,国内的MOCVD一直靠进口,国外设备占据了绝大部分份额,这种现状急需改变。

  巨头垄断市场

  国产设备处境艰难

  过去6~7年中,中国用于进口MOCVD设备的经费约15亿美元,其中各地方政府补贴经费高达70亿元左右。

  当前,美国的VEECO和德国的Aixtron公司垄断了全球近95%的市场。在过去的6~7年中,中国用于进口MOCVD设备的经费大约15亿美元,约合100亿元人民币,其中各地方政府补贴经费高达70亿元左右。为了产业的发展,花费巨资购买所需要的关键设备本来无需质疑,可惜的是,我们花了这么多的钱,最后还是没有属于自己的核心设备技术和关键零部件。

  当已有的设备和技术落后了,不再有竞争优势了,甚至被淘汰了,或是我们需要更多设备的时候,我们还是要继续花费巨资向外国公司购买新的设备。当我们需要做些改进或者要加入自己的技术和想法时,原厂 敲诈勒索 要求付出高额的费用才配合我们做些有限的变动和修改,通常他们所要的费用是我们一般国内公司所无法承受的,最后结果是不了了之,保持原貌。所以说,这么多年来,中国应该是他们最大的客户,或者是一流的客户,但是得到的却是三流的待遇。在这种境况下,中国MOCVD的用户很难开发出属于自己的真正的核心技术和知识产权,因为真正重要的工艺技术一定是与设备捆绑在一起的。国家主管部门看到了MOCVD的重要性,因此在 十二五 规划中明确提出,到2015年实现MOCVD设备的国产化。

  201 年,国内在MOCVD设备国产化方面向前迈进了一大步,并且在市场推广方面取得了阶段性的成果。光达光电、中微半导体、中晟等公司所研制的MOCVD设备先后得到了各自用户的认可和验证,并得到了很多正面的评价,一扫过去的阴霾。大家从大量的实验结果中看到了MOCVD设备国产化的希望。正是这些公司最近几年来不懈的努力,将多年来人们对于MOCVD是否能够国产化的疑云驱散,使得MOCVD国产化逐步成为现实。从技术的角度,在初期,国产的MOCVD主要是在现有的成熟的平台上进行尝试和开发,有的采用高速旋转技术,有的以喷淋头技术为主,还有的是采取水平层流式,或是以上 种技术中某2种技术的嫁接与组合。不论如何,事实证明,现有国产设备在基本工艺和产出的外延片芯片的性能指标上都已经达到了现有进口设备的水平。所以说,MOCVD国产化在技术开发和技术落地上已经取得了初步的成功,并完成了第一阶段的目标。当然在大批量生产、可靠性、重复性、成本降低、关键零部件国产化,进一步的创新和各项指标优化等方面还有大量的工作要做。

  崇洋 心理

  阻碍国产设备前进

  人们对于进口设备的迷信和对于国产设备的怀疑,使得宁愿进口设备也不想去冒任何风险。

  MOCVD的国产化面临着诸多挑战,除了上面提到的技术开发和落地外,更大的挑战在于人们对于国产MOCVD的怀疑。

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